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離子鍍膜機的工作原理

   科技的不斷研發(fā),讓行業(yè)內的制造工藝水平也在不斷完善。相比過去的疑難雜癥,隨著時間的遷移,已經(jīng)慢慢得到解決。同時,越來越多的產(chǎn)品隨著人們需求的增多,在科技進步的基礎上研發(fā)誕生。而今天我們所要講的就是離子鍍膜機

   離子鍍膜機的原理其實就是在真空室內利用氣體放電或被蒸發(fā)物質部分離化,在氣體離子或被蒸發(fā)物質粒子轟擊作用的同時,將蒸發(fā)物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術和真空蒸發(fā)三者有機結合起來,不僅能明顯地改進了膜質量,而且還擴大了薄膜的應用范圍。其優(yōu)點是薄膜附著力強,繞射性好,膜材廣泛等。D.M.首次提出離子鍍原理,起工作過程是:先將真空室抽至4×10(-3)帕以上的真空度,再接通高壓電源,在蒸發(fā)源與基片之間建立一個低壓氣體放電的低溫等離子區(qū)。基片電極接上5KV直流負高壓,從而形成輝光放電陰極。輝光放電區(qū)產(chǎn)生的惰性氣體離子進入陰極暗區(qū)被電場加速并轟擊基片表面,對其進行清洗。然后進入鍍膜過程,加熱使鍍料氣化,起原子進入等離子區(qū),與惰性氣體離子及電子發(fā)生碰撞,少部分產(chǎn)生離化。離化后的離子及氣體離子以較高能量轟擊鍍層表面,致使膜層質量得到改善。

多弧離子真空鍍膜機的電弧蒸發(fā)

 

CCZK-ION多弧離子真空鍍膜機

CCZK-ION多弧離子真空鍍膜機

 


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