馳誠公司CCZK-SFL系列連續(xù)磁控鍍膜生產(chǎn)線(鍍鈦設(shè)備)流水線可適用于幕墻玻璃,鋁鏡,反光鏡生產(chǎn),配備旋轉(zhuǎn)陰極,平面陰極磁控濺射靶。可以在大平板玻璃上鍍制一至多層特殊的金屬或金屬氧化物,金屬氮化物薄膜,金屬單質(zhì)膜,復(fù)合膜,Low- E輻射膜也可在小彎的弧形玻璃上鍍膜。鍍膜線產(chǎn)量高,每年可鍍膜200萬平方米以上,多室傳動(dòng),充分保證膜層的均勻性,物理性。
CCZK-SFL連續(xù)磁控鍍膜生產(chǎn)線
腔體結(jié)構(gòu):采用高效的臥式連續(xù)磁控鍍膜流水線,配備前后粗抽室,前后過渡室,前后精抽室,前后緩沖室,彩鍍室。
靶材設(shè)計(jì):采用新型旋轉(zhuǎn)陰極靶材以及平面陰極靶材。
電源配置:配備大功率中頻磁控濺射電源
傳動(dòng)系統(tǒng):滾軸傳動(dòng),變頻可調(diào),感應(yīng)式室門開啟系統(tǒng)。
真空系統(tǒng):擴(kuò)散泵(分子泵)+羅茨泵+機(jī)械泵+深冷泵
可鍍膜玻璃或平板,尺寸可定制
生產(chǎn)線安采用了先進(jìn)的插板閥進(jìn)行腔室隔斷,可以實(shí)現(xiàn)有效隔斷,穩(wěn)定工藝氣體。
生產(chǎn)線采用了均勻進(jìn)氣管結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),氣流注入均勻平緩;
電氣控制:生產(chǎn)線采用PLC全過程控制,快速的生產(chǎn)節(jié)拍,配備工業(yè)計(jì)算機(jī)顯示系統(tǒng)。
人機(jī)對話:控制系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)人、機(jī)對話,及時(shí)對生產(chǎn)過程進(jìn)行必要干預(yù)。運(yùn)行過程有報(bào)警提示和故障顯示,故障顯示能提示操作人員正確的操作和排故。
其他技術(shù)參數(shù):
極限真空: 3.0×10-2Pa
水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h;水溫≤25℃;氣壓:0.4-0.8Mpa;
一般規(guī)格:W1200mm*L2000mm(單室) W1500mm*L2400mm(單室)
真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
ITO導(dǎo)電膜鍍膜,幕墻玻璃,非晶硅太陽能電池,Low-e低輻射玻璃,鋁鏡彩鏡等各種產(chǎn)品的連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)。