馳誠真空光學(xué)(電子槍)鍍膜機通過電子源(電子槍)產(chǎn)生的高能電子束并在磁場的作用下轟擊坩堝中的鍍膜材料,通過動能對熱能的轉(zhuǎn)換產(chǎn)生高溫使得材料溶化并蒸發(fā)以獲得優(yōu)秀附著力和光學(xué)性能的膜層。
設(shè)計裝載超大坩堝電子槍,整個蒸發(fā)過程中膜料表面平整,蒸發(fā)分布均勻。
悉心選用INFICON石英晶振膜厚監(jiān)測系統(tǒng),可實現(xiàn)成膜速度和鍍膜過程的自動化控制。
設(shè)計多功能工件轉(zhuǎn)動方式,可搭載多套穹頂式光學(xué)鍍膜傘或行星式轉(zhuǎn)架。
采用馳誠工藝制造,精益求精,通過歐盟CE和ISO質(zhì)量管理體系認證;
CCZK-OGS光學(xué)電子槍鍍膜設(shè)備
腔體結(jié)構(gòu): 立式前開門,臥式前開門,后置真空獲得系統(tǒng)
材質(zhì)用料:腔體均采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼鍛造
制膜種類:光學(xué)多層膜,光學(xué)增透膜、減反射膜(AR)、單點增透、截止濾光片、七彩裝飾功能膜等
轉(zhuǎn)動系統(tǒng): 變頻調(diào)速,配備光學(xué)鍍膜傘和行星式工件轉(zhuǎn)架
電子束蒸發(fā)器: 配備大功率E型電子槍
輔助鍍膜: 可配備霍爾離子源或 高壓離子轟擊電源以提高附著力、膜層密度、穩(wěn)定折射率
加熱系統(tǒng):鎧裝加熱管加熱方式,350℃溫控PID控制。
真空系統(tǒng):擴散泵(可選分子泵)+羅茨泵+機械泵+維持泵+深冷系統(tǒng)(可選)
氣體控制: 采用多路氣體流量控制儀
膜層監(jiān)測: 配置采用美國INFICON產(chǎn)石英晶振膜厚儀,可實現(xiàn)膜層參數(shù)的儲存與自動調(diào)用
智能控制: PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面,實現(xiàn)邏輯全自動控制
報警及保護:異常情況進行報警,并執(zhí)行相應(yīng)保護措施。
其他技術(shù)參數(shù):
極限真空: 5.0×10-4Pa
抽氣速率: 5.0*10-2≤5min
水壓流速≥0.2Mpa 3m3/h;水溫≤25℃;氣壓:0.4-0.8Mpa;
備注:
一般規(guī)格: Φ1350*H1350,Φ1600mm*H1500mm,Φ2050mm*H1500mm,
真空室尺寸或設(shè)備配置可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求訂做
光學(xué)鏡頭,光學(xué)鏡片(玻璃、PC等),高級AB彩亞克力,手機鋼化玻璃視窗,黃金管(石英紅外加熱管),濾光片,可鍍膜增透膜等各種膜層。